颠覆传统,青禾晶元全球首创C2W&W2W双模混合键合设备引爆芯片技术革命
3月12日消息,青禾晶元昨日宣布推出其自主研发的全球首款C2W(芯片对晶圆)与W2W(晶圆对晶圆)双模式混合键合设备SAB82CWW。
SAB82CWW系列采用了一体化设备架构,不仅支持C2W和W2W两种技术路线,还大大提升了设备的通用性和灵活性。这样的设计让用户可以根据自身需求做出更多选择,无疑为市场注入了新的活力。 这一创新设计不仅满足了不同应用场景的需求,还显著增强了产品的市场竞争力。对于用户而言,这意味着他们可以更加便捷地根据具体的应用场景来调整设备配置,从而获得更好的使用体验。同时,这也反映了制造商在技术研发上的持续投入与创新精神,值得肯定。
青禾晶元的SAB82CWW混合键合设备采用模块化设计,能够兼容8英寸(200mm)和12英寸(300mm)晶圆,通过替换相应组件来适应不同尺寸的晶圆键合需求。
该设备能够处理厚度为35μm的超薄芯片,并且兼容尺寸从0.5mm×0.5mm到50mm×50mm的各种规格芯片。此外,它还能实现±30nm的对准精度和±100nm的键合精度,在C2W模式下单个键合头的最大产能可达1000片/小时。
青禾晶元表示,其SAB82CWW系列混合键合设备预计将在存储器、MicroLED显示、CIS(即CMOS图像传感器)、光电集成等领域能够发挥作用。